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为什么面板玻璃要镀ITO导电膜?

所属分类:新闻资讯 发布时间:2020-05-19 浏览次数:139
ITO导电膜,可以导电和透光,是“透明导电膜”的一种.在玻璃基板上镀ITO导电膜后,好比如果玻璃用于“窗户”,ITO膜通电后可以减少“窗户”的雾气;如果玻璃用于液晶显示器的配件,ITO膜蚀刻成为电路,通电后可以控制液晶的偏转(程度),我们就可以看到从液晶后面透过来的光,这些光就组成了图像;由于液晶分子必须夹在两电极之间,才便于控制其的偏转,所以在液晶面板的两面:TF面和CF面都要镀ITO。
 

 
ITO导电玻璃
 
ITO(Indium Tin Oxide,氧化铟锡)导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。在平板显示产业中主要应用在触摸屏和液晶面板领域。触摸屏领域应用的是TP-ITO导电玻璃,而液晶面板领域应用的是LCD-ITO导电玻璃,两者的主要区别在LCD-ITO导电玻璃还会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高端LCD-ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。LCD-ITO导电玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。
 
ITO导电玻璃是一种既透明又导电的玻璃,它采用磁控溅射沉积成膜技术,以ITO材料作为溅射靶材,在玻璃基板上生成一层很薄的ITO膜。这层ITO膜同时具有良好的导电性和透光性,适于制作透明显示电极,是平板显示器生产的重要原材料之一。玻璃基板的厚度通常只有0.3~1.1mm,它具有重量轻、透明度高、平整度高、有一定的机械硬度、容易切割加工等特点,因此被广泛应用于平板显示器上。ITO导电玻璃随着20世纪70年代初LCD显示器的兴起至今已经历了40多年的历程,并从过去只能生产高电阻、小尺寸、普通表面、黑白显示的产品,发展到了现在能够生产低电阻、大尺寸、抛光表面、彩色显示的产品。
 
早期的ITO导电玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材,通过氧化反应而成膜的。此种靶材对溅射工艺控制有极其严格的要求,尤其是氧气流量的稍许波动,就可能形成氧化反应不充分,而使膜层透过率和蚀刻性能变差;或因氧气流量较大,而造成靶面"中毒",使溅射效率下降,从而使膜层变薄、电阻升高。鉴于此,材料商开发出了氧化靶,即将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末,按一定比例充分混合好,再采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。随着制作工艺的不断改进,ITO靶材密度逐步提高,现在已达到99.5%以上,基本满足了ITO导电玻璃的需要。ITO导电玻璃的性能指标主要有基板玻璃的外形尺寸、表面电阻(或方块电阻)、透光率、膜层厚度、蚀刻性能和可靠性等。
 
ITO导电玻璃按电阻分,分为高电阻玻璃(电阻在150~500欧姆)、普通玻璃(电阻在60~150欧姆)、低电阻玻璃(电阻小于60欧姆)。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一般用于STN、TFT液晶显示器和透明线路板。ITO导电玻璃按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN、TFT液晶显示器产品。ITO导电玻璃按平整度分,分为抛光玻璃和普通玻璃。